- 派克Veriflo部門959W和NPR959W(亞大氣)是超高純氣體分配系統中的重負荷型壓力調節器。束縛式膜片設計通過改進截止閥提高了使用安全性,降低了高壓減壓的風險。閥座被一個一體式濾網進一步保護以免被進口氣缸污染。這種系列對于惰性氣體和腐蝕性氣體同樣適用,同時*的壓桿設計排除了螺紋造成的污染,進一步提高了過程清潔度以及吹掃性能。它是當需要嚴格潔凈、可靠、抗漏的制造業操作時的理想選擇。
959W和NPR959W系列與流體接觸的部分由316L不銹鋼構成,具有的防腐蝕性及抗漏能力。閥體內部經過電解拋光進一步提高防腐蝕性。對于那些更高級別的防腐蝕性要求,可提供將主要部件(膜片,閥錐,壓桿)用Hastelloy C-22® 哈斯特洛伊C22材料裝飾的選擇。閥座可選擇PCTFE(聚三氟氯乙烯)或Vespel(聚酰亞胺樹脂)材質。在進口壓力高達3,500 psig的情況下,這些材料為調節器提供了的防腐蝕性和大的使用壽命。
內部(閥座)密封及金屬外部密封均采用質譜儀進行氦氣泄漏實驗,以確保其在高要求的超高純應用中有出色可靠的表現。
對于非超高純應用,參照959和NPR959系列壓力調節器。 - ♦市場需求:
• 半導體
• 分析實驗室
• 制藥業
•生物制藥業
• 航天航空
• 工業
美國派克PARKER壓力調節器特點/優勢- ♦ *的壓桿使閥體不依靠螺紋噴嘴就能實現密封
♦ 高使用壽命
♦金屬-金屬、膜片-閥體密封確保了的抗漏性能
♦ 內部泄漏率:<2×10 -9 scc/sec He
♦外部泄漏率:<2×10 -10 scc/sec He
♦進口壓力可高達3,500 psig
♦ 出口壓力從-25 in-Hg到100 psig(NPR959W用于亞大氣壓力控制)
♦ Cv選項為0.04(std)或0.20
♦ 15-20 Ra(std)或10 Ra電解拋光表面光潔度
美國派克PARKER壓力調節器應用
♦腐蝕性及特殊氣體
♦工具連接
♦ 特氣柜
♦ 閥箱
♦上游生產線
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